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寧波市鄞州首南恒宇激光雕刻廠

飛秒光纖激光器實現可靠的晶圓切割
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在高掃描速度下,用高重復頻率的飛秒光纖激光器切割晶圓,明顯比用納秒激光器切割的晶圓具有更高的斷裂強度。 Lawrence Shah, Kiyomi Monro, Gyu C Cho 半導體芯片和封裝正在向更高密度的互連方向發展。融入半導體芯片(如處理器和存儲器)中的復雜的材料成份,對封裝技術提出了新的要求。目前,傳統的機械晶圓切割技術仍占據主導地位,但是當切割厚度小于100

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